技术参数
： 径向跳动（轴远端）≤3微米 径向跳动（轴近端）≤1微米 洁净间里进行温升和噪声的检测 ＜70dB(6000RPM) ＜65dB(3000RPM)  适用于：6寸小巧型匀胶机               6寸智能型匀胶机        

1、、、、高精度-重复定位精度±1um/500mm 2、、快速响应-样机5个工作日 3、、降低成本   

加工范围从几十微米到几百微米。。
。。 1.
、、X\Y轴：IC系列有铁芯电机
，，重复精度±1μm，，，定位精度3μm。。。 2
、、、Z 轴
：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环。。。重复定位±2μm,定位精度5μm。。。 3、、、AKD系列驱动器 此类产品会用到IL系列直线电机等产品。。。
。 

低速平稳性，
，，，实现纳米级的速度波动
，，，，大大提升零件表面的光洁度，，，，主要用于高端光学器件的表面加工
。。。。 此类产品会⽤到IL系列直线电机等产品。。 

  技术特点： 1、
、气浮轴承 2、、、重复精度
：≤0.2 ″ 补偿前 3、、、定位精度：≤1.1 ″补偿前 4、
、输出轴跳动
：径向跳动<2μm, 轴向跳动<0.5μm 5、、、承载：300kg 

  技术特点： 1、、特殊外形、、、输出轴定制 2、、
、外壳特殊处理、、、满足洁净要求。。。。 3
、、、速度稳定性